ALSONTECH成功研发出超高精度非接触式自动检测平台

2015-03-15 17:35

我公司成功研制出拥有自主产权的超高精度的非接触式自动检测平台,可应用于半导体行业的超高精密检测,检测精度0.5μm,运动精度20nm,检测速度相对于传统方式提高15倍以上。。目前已经接受国际客户订购。