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ALSONTECH成功研发出超高精度非接触式自动检测平台
2015/03/15 

我公司研制成功拥有自主产权的超高精度的非接触式自动检测平台,可应用于半导体行业的超高精密检测,检测精度0.5μm,运动精度20nm, 检测速度相对于传统方式提高15倍以上。目前这一技术在国际上只有个别国家掌握,产品的问世填补了国内空白。目前已经授受国际客户订购。